(MOVPE) Halbleiterschichtwachstum aus dem Dampf metallisch-organischer Materialien. Der Prozess ist praktisch äquivalent mit MOCVD, der Ausdruck betont jedoch den Epitaxie-Charakter.
(MOVPE) Halbleiterschichtwachstum aus dem Dampf metallisch-organischer Materialien. Der Prozess ist praktisch quivalent mit MOCVD, der Ausdruck betont jedoch den Epitaxie-Charakter.